功功能需求: 先进传感器与智能检测实验系统包含1个原位电学冷热台、1个控温模块、1个水冷机、1个电学测试系统(双通道)、1个静态配气模块,1个气氛及湿度控制模块,可以提供1路背景气、2路目标气、1路快切气路、2路湿度控制气路,可进行精确的电学测试、温度控制和气氛及湿度控制,且后续具有极高的可扩展性,可以通过增加外围模块,实现光敏、光敏气敏、光电等多维传感器的研究测试。 I.原位电学冷热台 1.原位电学冷热台配置两路反应气接口和一路真空接口,可通过卡套、快插与配气系统及真空泵相连接; 2.Ag热台,尺寸33 mm*32 mm,含水冷快速接头,上下一体化水冷,配置水冷机一台进行循环水冷保护 2.原位电学冷热台内置探针座及夹具:4套; 3.配置4个BNC或者三同轴连接器,支持双通道测试; 4.原位电学冷热台体积:≤200mL; 5.物镜工作距离≤10mm,石英观察窗口,直径≥30mm; 6.腔室体积:≤150mm*150mm*40mm; II.控温模块 1.控温范围:≥室温~400℃连续可调;分辨率/稳定度:0.2 ℃; 2.控制方式:通过触摸屏控温,支持设置≥40 段程序控温,触摸屏同时支持环境温度、湿度和压力等参数实时显示 III.电学测试系统 1.电学测试系统采用双源表配置,支持双通道测试,四线或两线测量; 2.电流范围:200pA~200 mA;电阻测量范围:≥1Ω~10GΩ;电压范围:≥±200 mV~±5 V; 3.测试模式:I-t,R-t,I-V等;支持多信号如温度、湿度、压力等信号与电学信号同步采集; 4.软件支持多种灵敏度格式,包括Ra/Rg、Rg/Ra、|Ra-Rg|/Ra自动转换; IV.静态配气模块 ★1.配置静态配气模块1个,体积≥1L,与小腔体配合使用,支持静态配气,支持液体蒸发温度≥室温~170℃,内置有高精度温湿度传感器1个 2.配置液体蒸发配气小软件1套,内含集成的液体种类≥60种,支持自动添加新增液体 V.气氛及湿度控制模块 1.支持为传感器提供精准的气氛和湿度氛围,支持直接使用各类气体气源(如 NOx、H2S、CO 等)的动态配气。控湿部分既可单独进行湿度控制,也可用于配置不同湿度的各种气体。 2.气路通道包括1路背景气路、1路快切气路、2路目标气体气路;2路湿气气路(干气和湿气); 3.背景气路:满量程≥ 1000 sccm,控制范围 2%~100%; 4.快切气路:满量程≥ 1000 sccm,控制范围 2%~100%; 5.目标气路1:满量程≤ 100 sccm,控制范围 2%~100%; 6.目标气路2:满量程≤ 10 sccm,控制范围 2%~100%; 7.干气气路:满量程≥ 1000 sccm,控制范围 2%~100%; 8.湿气气路:满量程≥ 1000 sccm,控制范围 2%~100%; 9.湿度控制:范围 2%RH~90%RH;精度:≥±1%RH,稳定度 ≥0.5%RH(RT 标定),湿度模块内置有高精度温湿度传感器,支持自调节,支持对气体控湿 10.提供标准传感器接口和微型传感器测量腔:体积≤ 60mL,动态气氛切换快; 11.配置全自动控制软件,支持多段气体流程配气,支持浓度和流量两种模式,支持预混,内置气体参数≥160种。 12.配置便携式气体传感器分析模块,蓝牙传输,安卓手机APP实时检测分析数据(电阻和浓度均可输出),电阻测试范围≥10Ω-200MΩ,加热范围≥0-100mA,支持传感器测量与标定。 VI.其他 1.小型磁控溅射机要求,直流溅射电源,最大功率≤1000W,溅射真空≤10Pa;样品台可旋转,含机械泵。 2.小型涂布机要求:涂布厚度:0.005-5MM(湿膜),刮涂精度:0.003mm,0.001mm线棒,室温~160 度(可恒温)。 3.测试系统配备防静电重型实验台两套:高密度聚合板,橡胶脚杯,钢管,3层带灯架及双抽屉柜,150*60*160mm。 |